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一種可退座退棒的多晶矽還原爐用石墨組件百度學術羅會清,胡亞非本實用新型涉及一種可退座退棒的多晶矽還原爐用石墨組件,包括下部位置設有圓錐形電極插孔的底座,所述底座上部位置設有與所述電極插孔相通的倒圓錐形插槽所述插一種具有定向凝固組織多晶矽錠的制備方法百度學術丁宏升,傅恒志,李新中一種具有定向凝固組織多晶矽錠的制備方法,它涉及一種多晶矽錠生産方法,以解決現有多晶矽錠的制備主要是在陶瓷或石墨套筒中進行,套筒內壁對多晶矽産生汙染,導致多晶矽錠的多晶矽生産中廢氣的處理年月日國內多數多晶矽生産廠廢氣和廢液一般通過堿液淋洗進行處理,這樣會産生大量的高鹽噴淋降溫塔出來的鹽酸經過石墨換熱器與冷卻水換熱冷卻後進人噴淋裝置繼續對煙氣

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石墨上多晶矽薄膜的制備及擇優取向的調控百度學術施輝偉,陳諾夫,黃添懋微納電子技術利用磁控濺射在石墨襯底上制備了非晶矽薄膜,並使用快速熱退火對薄膜進行了晶化處理分析表明,直接濺射沈積在石墨襯底上的矽薄膜經過快速熱退火後具有高度的多晶矽還原爐的矽棒倒料問題安徽新大半導體科技有限公司年月日等,在這種情況下,只有調節電壓電流來解決。多晶矽還原爐的矽棒倒爐分兩種矽芯倒爐和矽啓爐時石墨底座與矽芯卡瓣質量規格

一種多晶矽的除硼提純方法及裝置百度學術一種多晶矽的除硼提純方法及裝置,涉及一種多晶矽。提供一種低成本,工藝簡單,適合産業化推廣的多晶矽的除硼提純方法及裝置。多晶矽除硼提純裝置設有真空系統中頻感應熔還原爐絕緣套搜索,還原爐絕緣套,本實用新型涉及一種還原爐絕緣套,它屬于多晶矽生産領域。它由石墨蓋板陶瓷絕緣環陶瓷絕緣底座構成,陶瓷絕緣底座底部和還原爐底盤接觸

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